本报讯 6月30日，航空工业川西机器研制的RDJ1250/4400200.1400型热等静压设备投产仪式在浙江省宁波市举行。该型设备是国内容积最大的超大规格热等静压设备，相关技术参数均达到国际先进水平，填补了我国在超高纯材料领域的空白。
超高纯材料制备是中国高新技术产业的制高点，也是国家重点发展的战略新兴产业。热等静压设备是超高纯材料制备的关键工艺设备，该设备的投产应用可以有效消除超高纯原材料的制备缺陷达到完美致密工艺要求，热等静压设备超高温、超高压的技术在制备具有高密度、高纯度、高均匀性、高韧性等优良综合性能的材料方面占据优势，可广泛应用多种高纯度、大尺寸溅射靶材的生产，将推动靶材坯料制备向着“高精度、大尺寸”趋势发展的重要设备支撑。
国家在“十四五”规划中提出，培育先进制造业集群，推动集成电路等产业创新发展战略，确保热等静压技术在溅射芯片靶材行业中发挥引领作用。针对超大尺寸靶材这一国家重大需求，川西机器凭借热等静压装备及专业技术优势，集智攻关、开拓创新，先后攻克了多项关键技术，成功研制出工作压力200兆帕、工作温度1400摄氏度、有效热区容积5.4立方米的中国最大热等静压设备。该设备的相关技术参数均处于国内领先水平，不仅能满足超大尺寸的靶材制造特殊工艺需求，也为实现集成电路核心材料及关键零部件国产化奠定了坚实基础，为我国超高纯靶材领域的发展贡献了航空力量。 （严海杨）