荷兰ASML正制造新一代光刻机 2022-05-31 

  

  据报道,荷兰ASML正制造新款极紫外光线(EUV,extreme ultraviolet)光刻机,预计每台售价约4亿美元,或将在2023年上半年完成制造,并有望在2025年交付芯片供应商。
  据悉,该光刻机重达200多吨,有“双层巴士”那么大,旨在生产可用于手机、笔记本电脑、汽车以及人工智能等领域的计算机芯片上所需的微观电路。
  ASML的总部位于靠近比利时边境的荷兰南部小镇维尔德霍芬(Veldhoven),该公司的高管告诉外媒,该公司和其长期合作伙伴——一家名为IMEC的非营利性研究机构正建立一个测试实验室。这也意味着,未来全球顶级芯片制造商和供应商,可以试用该光刻机的性能,以决定是否购买。
  EUV,即ASML 最先进的机器所使用的光波波长,指的是电磁波谱中波长从121纳米到10纳米的电磁辐射所在的频段。ASML CEO彼得·温宁克(Peter Wennink)告诉媒体,过往10年间该公司已出售大约140台EUV光刻机,单价约2亿美元一台。
  而本次研发的是使用“High-NA”的EUV。对于ASML来说,只有实现此次研发目标,才不会让自己丧失竞争力和失去订单。
  该项目的“命运”对ASML的客户来说也很重要,因为芯片制造商在全球资源短缺的情况下竞相扩大生产。比如英特尔、三星、台积电等,其中台积电正在为苹果、AMD和英伟达等公司生产芯片。
  据悉,ASML的机器每台成本高达1.6亿美元,但是机器短缺是芯片制造商正面临的瓶颈。因此,芯片制造商们计划在未来几年花费1000多亿美元建造额外的制造工厂,以便满足客户需求。
  此前,台积电在2010年代末首次整合了ASML的EUV机器,借此一举超越竞争对手。也正因此,台积电
的竞品厂商曾表示,不会再在“HighNA”上“犯错”。
  在缩小芯片制程上,EUV光刻机有着重要作用。“High-NA”技术有望将电路面积降低66%。在芯片制造中,越小的才越好。因为在同一空间中封装的晶体管越多,芯片就越快、越节能。
  当前,芯片电路正接近原子水平,这也让人们开始认识到“摩尔定律”失效,“摩尔定律”指的是芯片上的晶体管数量大约每两年翻一番。
  采用“High-NA”的机器将比之前的机器大30%左右,IMEC表示,它认为和ASML共同建立上述实验室,可为芯片制造商节省长达一年的开发时间。
  ASML方面称,它有5台试验机器的订单,2024年或2025年,ASML将加快生产型的交付。
  但在复杂部件的集成上,ASML仍存在巨大挑战,其中就包括由德国卡尔蔡司在真空中制造的抛光、超光滑曲面镜的光学系统。
  回顾过往,自2000年以来,ASML从日本竞争对手尼康和佳能手中快速夺取了市场份额。自那时至今,ASML控制着超过90%的光刻机市场。以至于没有任何竞争对手敢以高开发成本,去构建类似的EUV系统。过去十年间,该公司的发展十分顺遂,股价一度飙升1000%,当前市值为2145.22亿美元,同时也获得了光刻机系统的全球大部分订单。
  虽然ASML在业内享有近乎垄断的地位,但是“定价取决于机器生产力”。与此同时,有能力生产领先芯片的公司数量正在减少,ASML又必须向其出售EUV工具,其中也包括内存芯片制造商SK海力士和美光(Micron)。
  一些研究人员预计,ASML在未来十年的年销售额将翻倍,并有望超过1万亿美元。但是,一个必须面对的现实是,ASML在“High-NA”技术的供应链上仍面临着一定压力。美国塔夫茨大学弗莱彻学院助理教授克里斯·米勒(Chris Miller)告诉外媒,虽然ASML是荷兰企业,但在光刻机的零部件上,仍在严重依赖美国供应商。
  此外,由于投资人预计ASML将获得更进一步的主导地位和业绩增长,以证明其2021年市盈率35倍的估值是合理的,所以就算该公司遇到技术阻碍或供应链障碍,它也几乎没有犯错的余地。
  产业调查机构TechInsights芯片经济学家丹·哈奇森(Dan Hutcheson) 认 为,“High-NA”EUV可以为一些芯片制造商带来显著优势。 (辛文)